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    Teilchenstrahlgerät mit gekühltem Antikontaminator und/oder Probenhalter
    4.
    发明公开
    Teilchenstrahlgerät mit gekühltem Antikontaminator und/oder Probenhalter 有权
    TeilchenstrahlgerätmitgekühltemAntikontaminator und / oder Probenhalter

    公开(公告)号：EP1519399A2

    公开(公告)日：2005-03-30

    申请号：EP04017437.7

    申请日：2004-07-23

    申请人： Carl Zeiss NTS GmbH

    发明人： Müller, Helmut

    IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/09 ,  H01J37/20

    CPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2802

    摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät mit einem gekühlten Antikontaminator (18) und/oder einem gekühlten Probenhalter (17). Zur Verbindung zwischen dem Antikontaminator (18) und/oder dem Probenhalter (17) einerseits, und dem Kühler (21) eines Kryogefäßes (20) ist ein Wärmeleiter (19) vorgesehen, der ein Kohlefaserbündel aufweist. Durch das Kohlefaserbündel (19) ist eine hohe Wärmeleitung zwischen dem Kühler (21) und den zu kühlenden Flächen (17,18) gewährleistet. Gleichzeitig werden thermische Ausdehnungen, die zu einer Verschiebung des Antikontaminators und/oder des Probenhalters (17) führen vermieden.

    摘要翻译： 粒子辐射装置，特别是透射或扫描电子显微镜，包括聚焦或成像粒子束的目的，用于目标中的探针的保持器（17），具有冷却表面（18）的冷却器（21）和热导体 （19），其具有碳纤维（23）以从探针支架移除热量。