发明授权
- 专利标题： Structure for pattern formation, method for pattern formation, and application thereof
- 专利标题（中）： 图案形成的结构，图案形成方法及其应用
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申请号： EP03021173.4申请日： 1998-08-10
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公开(公告)号： EP1376225B1公开(公告)日： 2010-10-13
- 发明人: Kobayashi, Hironori, , Yamamoto, Manabu, , Aoki, Daigo, , Kamiyama, Hironori, , Hikosaka, Shinichi, , Kashiwabara, Mitsuhiro,
- 申请人： DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
- 申请人地址： 1-1, Ichigaya-Kaga-Cho 1-chome Shinjuku-ku Tokyo 162-01 JP
- 专利权人： DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
- 当前专利权人： DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
- 当前专利权人地址： 1-1, Ichigaya-Kaga-Cho 1-chome Shinjuku-ku Tokyo 162-01 JP
- 代理机构： Müller-Boré & Partner Patentanwälte
- 优先权： JP21484597 19970808; JP30029597 19971031; JP31304197 19971114; JP10036998 19980327; JP8595598 19980331; JP8629398 19980331; JP16539298 19980612; JP16731698 19980615; JP18337098 19980615
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/00 ; G03F7/075 ; G02B5/20 ; G02B3/00 ; B41C1/10 ; G03F7/039
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