发明授权
- 专利标题： Charged-particle beam lens
- 专利标题（中）： 透镜，用于将带电粒子束
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申请号： EP03254334.0申请日： 2003-07-08
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公开(公告)号： EP1383158B1公开(公告)日： 2014-09-10
- 发明人: Ono, Haruhito, , Nagae, Kenichi, , Takakuwa, Masaki , Nakayama, Yoshinori , Muto, Harunobu
- 申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA , Hitachi, Ltd.
- 申请人地址： 30-2, 3-Chome Shimomaruko Ohta-Ku Tokyo JP
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA,Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA,Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： 30-2, 3-Chome Shimomaruko Ohta-Ku Tokyo JP
- 代理机构： TBK
- 优先权： JP2002207292 20020716; JP2003022088 20030130
- 主分类号： H01J37/317
- IPC分类号： H01J37/317 ; B82Y10/00 ; B82Y40/00 ; H01J37/12
公开/授权文献
- EP1383158A3 Charged-particle beam lens 公开/授权日：2010-11-17
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