发明公开
EP1430513A1 ARTICLE HOLDERS WITH SENSORS DETECTING A TYPE OF ARTICLE HELD BY THE HOLDER
有权
有传感器持有人的用于确定制品的技术，由保持器OBJECT被保持
- 专利标题： ARTICLE HOLDERS WITH SENSORS DETECTING A TYPE OF ARTICLE HELD BY THE HOLDER
- 专利标题（中）： 有传感器持有人的用于确定制品的技术，由保持器OBJECT被保持
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申请号： EP02740020.9申请日： 2002-07-08
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公开(公告)号： EP1430513A1公开(公告)日： 2004-06-23
- 发明人: KRETZ, Frank, E. , BERGER, Alexander, J. , CASAROTTI, Sean, A.
- 申请人： Tru-Si Technologies Inc.
- 申请人地址： 657 N. Pastoria Avenue Sunnyvale, CA 94086 US
- 专利权人： Tru-Si Technologies Inc.
- 当前专利权人： Tru-Si Technologies Inc.
- 当前专利权人地址： 657 N. Pastoria Avenue Sunnyvale, CA 94086 US
- 代理机构： Gill, David Alan
- 优先权： US904638 20010713
- 国际公布： WO2003007345 20030123
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/66 ; B25J9/00 ; B23Q17/20 ; G01D5/24
摘要：
An article holder has sensors that detect whether an article held in the holder is a workpiece or a piece of packaging material. Examples are end effectors suitable for picking up semiconductor wafers and packaging material from a pod or some other carrier.
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