发明公开
EP1478030A4 TANDEM THIN-FILM PHOTOELECTRIC TRANSDUCER AND ITS MANUFACTURING METHOD
有权
光电管TANDEM薄膜制造方法CONVERTER
- 专利标题： TANDEM THIN-FILM PHOTOELECTRIC TRANSDUCER AND ITS MANUFACTURING METHOD
- 专利标题（中）： 光电管TANDEM薄膜制造方法CONVERTER
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申请号： EP03734617申请日： 2003-01-27
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公开(公告)号： EP1478030A4公开(公告)日： 2010-03-24
- 发明人: FUKUDA SUSUMU , TAWADA YUKO , KOI YOUHEI , YAMAMOTO KENJI
- 申请人： KANEKA CORP
- 专利权人： KANEKA CORP
- 当前专利权人： KANEKA CORP
- 优先权： JP2002019225 2002-01-28; JP2002079823 2002-03-20; JP2002380062 2002-12-27
- 主分类号： C23C16/40
- IPC分类号： C23C16/40 ; H01L31/075 ; H01L31/0236 ; H01L31/04
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IPC分类:
