发明授权
- 专利标题: Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch
- 专利标题(中): 毫无根据静电激活微机电系统开关
-
申请号: EP03026904.7申请日: 2003-11-24
-
公开(公告)号: EP1489639B1公开(公告)日: 2007-03-21
- 发明人: Yip, David
- 申请人: NORTHROP GRUMMAN CORPORATION
- 申请人地址: 1840 Century Park East Los Angeles, CA 90067-2199 US
- 专利权人: NORTHROP GRUMMAN CORPORATION
- 当前专利权人: NORTHROP GRUMMAN CORPORATION
- 当前专利权人地址: 1840 Century Park East Los Angeles, CA 90067-2199 US
- 代理机构: Winter, Brandl, Fürniss, Hübner Röss, Kaiser, Polte Partnerschaft Patent- und Rechtsanwaltskanzlei
- 优先权: US465555 20030620
- 主分类号: H01H59/00
- IPC分类号: H01H59/00 ; G02B26/08
公开/授权文献
信息查询