发明授权
- 专利标题： Device for calculating the quantity of light and method thereof
- 专利标题（中）： 的方法和装置，用于计算的光量
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申请号： EP04254154.0申请日： 2004-07-12
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公开(公告)号： EP1498935B1公开(公告)日： 2006-04-26
- 发明人: Kawashima, Isamu
- 申请人： TOKYO SEIMITSU CO.,LTD.
- 申请人地址： 7-1, Shimorenjaku 9-chome Mitaka-shi Tokyo JP
- 专利权人： TOKYO SEIMITSU CO.,LTD.
- 当前专利权人： TOKYO SEIMITSU CO.,LTD.
- 当前专利权人地址： 7-1, Shimorenjaku 9-chome Mitaka-shi Tokyo JP
- 代理机构： Finnie, Peter John
- 优先权： JP2003197218 20030715
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/68 ; G01J1/42
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