发明授权
EP1519399B1 Teilchenstrahlgerät mit gekühltem Antikontaminator und/oder Probenhalter
有权
粒子束用冷却Antikontaminator和/或样品保持器
- 专利标题： Teilchenstrahlgerät mit gekühltem Antikontaminator und/oder Probenhalter
- 专利标题（英）： Particle beam apparatus with cooled anti-contamination shield and/or sample holder
- 专利标题（中）： 粒子束用冷却Antikontaminator和/或样品保持器
-
申请号： EP04017437.7申请日： 2004-07-23
-
公开(公告)号： EP1519399B1公开(公告)日： 2011-10-19
- 发明人: Müller, Helmut
- 申请人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 申请人地址： Carl-Zeiss-Strasse 56 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss NTS GmbH
- 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Strasse 56 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Gnatzig, Klaus
- 优先权： DE10344492 20030924
- 主分类号： H01J37/02
- IPC分类号： H01J37/02 ; H01J37/09 ; H01J37/20
公开/授权文献
信息查询
