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发明公开
EP1521067A3 Optisches Abbildungssystem 审中-公开
光学成像系统

  • 专利标题： Optisches Abbildungssystem
  • 专利标题（英）： Optical imaging system
  • 专利标题（中）： 光学成像系统
  • 申请号： EP04021937.0
    申请日： 2004-09-15
  • 公开(公告)号： EP1521067A3
    公开(公告)日： 2005-04-27
  • 发明人: Engel, Thomas, Dr.
  • 申请人： Carl Zeiss SMS GmbH
  • 申请人地址： Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena DE
  • 专利权人： Carl Zeiss SMS GmbH
  • 当前专利权人： Carl Zeiss SMS GmbH
  • 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena DE
  • 代理机构： Breit, Ulrich
  • 优先权： DE10345783 20031001
  • 主分类号： G02B21/16
  • IPC分类号： G02B21/16 ;  G02B17/06
Optisches Abbildungssystem
摘要：
Es wird beschrieben ein optisches Abbildungssystem, das ein Objekt (2) in eine Bildebene (3) abbildet und das aufweist einen Beleuchtungsstrahlengang (5), in den Beleuchtungsstrahlung in einem Wellenlängenbereich unterhalb 100 nm eingekoppelt wird und der zur Einstellung der numerischen Apertur der Beleuchtung eine Sigma-Blende (8) aufweist, einen Abbildungsstrahlengang (6), der zur Einstellung der numerischen Apertur der Abbildung eine NA-Blende (10) aufweist und in der Bildebene (3) ein vergrößertes Bild der Maske (2) erzeugt, wobei Beleuchtungs- und Abbildungsstrahlengang (5, 6) eine reflektive Optik (7, 9) aufweisen, wobei eine Justierabbildungseinrichtung (11, 15, 16, 17, 6) vorgesehen ist, die die gegenseitige Lage von Sigma- und NA-Blende (8, 10) abbildet.
摘要（英）：

There will be described an optical imaging system that images an object (2) in an image plane (3) and having an illumination beam path (5), is coupled into the illumination radiation in a wavelength region below 100 nm and to set the numerical aperture of the illumination, a Sigma-aperture (8), an imaging beam path (6), of an NA aperture (10) for adjusting the numerical aperture of the imaging and the image plane (3) generates a magnified image of the mask (2), lighting and imaging beam path (5, 6) a reflective optics (7, 9), wherein a Justierabbildungseinrichtung (11, 15, 16, 17, 6) is provided, the mutual position of sigma and NA-diaphragm (8, 10) maps.

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