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EP1553062A1 Mit einer Wärmeschutzschicht beschichtetes Substrat 有权
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Mit einer Wärmeschutzschicht beschichtetes Substrat
摘要:
Die Erfindung betrifft ein mit einer Wärmeschutzschicht beschichtetes Substrat mit einer Metallschicht (3). Die Wärmeschutzschicht weist eine dielektrische Unterschicht (2) auf, die zwischen der Metallschicht (3) und dem Substrat (1) angeordnet ist. Die dielektrische Unterschicht (2) umfasst zumindest eine erste Lage (2a) eines Oxids oder Nitrids von einem Element einer Gruppe bestehend aus Bi, W, Ti. Die Wärmeschutzschicht umfasst ferner eine dielektrische Oberschicht (4), die auf der von dem Substrat (1) abgewandten Seite der Metallschicht (3) angeordnet ist, wobei die dielektrische Oberschicht (4) zumindest eine Lage (4b) eines Nitrids oder Oxynitrids eines Elements aus der Gruppe bestehend aus Al, Si oder Zr aufweist.
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