发明公开
EP1594142A4 FERROELECTRIC FILM, SEMICONDUCTOR DEVICE, FERROELECTRIC FILM MANUFACTURING METHOD, AND FERROELECTRIC FILM MANUFACTURING APPARATUS
审中-公开
FERRO电热膜，半导体元件，FERRO电热膜方法和制造设备技术FERRO电热膜
- 专利标题： FERROELECTRIC FILM, SEMICONDUCTOR DEVICE, FERROELECTRIC FILM MANUFACTURING METHOD, AND FERROELECTRIC FILM MANUFACTURING APPARATUS
- 专利标题（中）： FERRO电热膜，半导体元件，FERRO电热膜方法和制造设备技术FERRO电热膜
-
申请号： EP04707661申请日： 2004-02-03
-
公开(公告)号： EP1594142A4公开(公告)日： 2009-08-05
- 发明人: OHMI TADAHIRO , TAKAHASHI ICHIRO , YAMADA ATSUHIKO , SAKURAI HIROYUKI
- 申请人： TOKYO ELECTRON LTD , OHMI TADAHIRO
- 专利权人： TOKYO ELECTRON LTD,OHMI TADAHIRO
- 当前专利权人： TOKYO ELECTRON LTD,OHMI TADAHIRO
- 优先权： JP2003028256 2003-02-05
- 主分类号： C23C14/06
- IPC分类号： C23C14/06 ; C01G35/00 ; C23C14/08 ; H01B3/00 ; H01B3/12 ; H01L21/314 ; H01L21/316 ; H01L21/8246 ; H01L21/8247 ; H01L27/105 ; H01L29/788 ; H01L29/792 ; H01B19/00 ; H01L27/10
摘要：
The relative dielectric constant of a ferroelectric film of Sr2(Ta1-xNbx)O7 (0
信息查询
IPC分类:
