发明公开
EP1602978A1 EXPOSURE APPARATUS FOR LIQUID CRYSTAL PANEL AND EXPOSURE APPARATUS
审中-公开
暴风雨VÜSSIGKRISTALLPANEELUND EXPOSITIONSVORRICHTUNG
- 专利标题： EXPOSURE APPARATUS FOR LIQUID CRYSTAL PANEL AND EXPOSURE APPARATUS
- 专利标题（中）： 暴风雨VÜSSIGKRISTALLPANEELUND EXPOSITIONSVORRICHTUNG
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申请号： EP04710494.8申请日： 2004-02-12
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公开(公告)号： EP1602978A1公开(公告)日： 2005-12-07
- 发明人: TAKEHISA, Kiwamu , MORIYAMA, Shirou, Nihon Ceratec Co, Ltd , SAKAMAKI, Makoto, Nihon Ceratec Co, Ltd , OHMI, Tadahiro
- 申请人： Nihon Ceratec Co., Ltd. , OHMI, Tadahiro
- 申请人地址： 5, Ake-dori 3-chome, Izumi-ku Sendai-shi, Miyagi 981-3292 JP
- 专利权人： Nihon Ceratec Co., Ltd.,OHMI, Tadahiro
- 当前专利权人： Nihon Ceratec Co., Ltd.,OHMI, Tadahiro
- 当前专利权人地址： 5, Ake-dori 3-chome, Izumi-ku Sendai-shi, Miyagi 981-3292 JP
- 代理机构： Barendregt, Frank
- 优先权： JP2003044973 20030221
- 国际公布： WO2004074939 20040902
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/027 ; G02F1/13 ; C04B35/565 ; C04B35/584
摘要：
A composite ceramic material with a honeycomb structure which is composed by adding glass into silicon carbide is used for a mask stage (2) and a substrate stage (12) in an exposure apparatus (100) for liquid crystal panels.
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IPC分类:
