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发明公开
EXPOSURE APPARATUS FOR LIQUID CRYSTAL PANEL AND EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：暴风雨VÜSSIGKRISTALLPANEELUND EXPOSITIONSVORRICHTUNG

公开(公告)号：EP1602978A1

公开(公告)日：2005-12-07

申请号：EP04710494.8

申请日：2004-02-12

申请人： Nihon Ceratec Co., Ltd. , OHMI, Tadahiro

发明人： TAKEHISA, Kiwamu , MORIYAMA, Shirou, Nihon Ceratec Co, Ltd , SAKAMAKI, Makoto, Nihon Ceratec Co, Ltd , OHMI, Tadahiro

IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , G02F1/13 , C04B35/565 , C04B35/584

CPC分类号： G03F7/70716 , C04B35/565 , C04B35/584 , C04B2235/36 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/9607 , G03F7/7095

摘要： A composite ceramic material with a honeycomb structure which is composed by adding glass into silicon carbide is used for a mask stage (2) and a substrate stage (12) in an exposure apparatus (100) for liquid crystal panels.

摘要翻译： 用于液晶面板的曝光装置（100）中的掩模台（2）和基板台（12）使用具有蜂窝结构的复合陶瓷材料，该陶瓷材料通过将玻璃加入到碳化硅中而构成。