Ein Verfahren zum Kalibrieren von Schleif- und/oder Erodiermaschinen setzt einen Erstkalibrierungsvorgang und entsprechenden Nachkalibrierungsvorgänge voraus. In dem Erstkalibrierungsvorgang wird eine Einmessung der Maschine mit einem Referenzkörper und einem Referenztaster vorgenommen, wobei der Referenzkörper an einer Arbeitsspindel oder einem Werkstückträger und der Referenztaster an dem Werkstückträger oder der Arbeitsspindel befestigt wird. Auf erste Antastvorgänge aus allen Koordinatenrichtungen folgen Schleifversuche, in denen im iterativen Vorgehen die dem Tastvorgang innewohnenden, insbesondere auf Toleranzen des Tasters beruhenden Abweichungen bestimmt und unwirksam gemacht werden. Unmittelbar nach Durchführung der Bearbeitungsversuche und somit Erstreferenzieren der Bearbeitungsmaschine wird das maschineninterne Messsystem kalibriert, indem der Maschinentaster und ein Probekörper aus allen Koordinatenrichtungen angetastet und die sich ergebenden Positionswerte abgespeichert werden. Spätere Nachkalibrierungen liefern Messwerte, die mit den abgespeicherten Werten verglichen werden, wobei sich aus den Abweichungen dann Korrekturwerte für die weitere Bearbeitung von Werkstücken ergeben.