发明授权
- 专利标题： Immersion method
- 专利标题（中）： 浸泡法
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申请号： EP06252129.9申请日： 2006-04-19
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公开(公告)号： EP1716949B1公开(公告)日： 2008-08-27
- 发明人: Lau, Danny , Kwok, Raymund W. M. , Ting, Fai Lung , Crosby, Jeffrey N.
- 申请人： Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C.
- 申请人地址： 455 Forest Street Marlborough, Massachusetts 01752 US
- 专利权人： Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C.
- 当前专利权人： Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C.
- 当前专利权人地址： 455 Forest Street Marlborough, Massachusetts 01752 US
- 代理机构： Kent, Venetia Katherine
- 优先权： GB0507887 20050420
- 主分类号： B23B15/00
- IPC分类号： B23B15/00 ; C07F9/06 ; C23F11/00 ; C23C22/00
公开/授权文献
- EP1716949A1 Immersion method 公开/授权日：2006-11-02
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