发明公开
- 专利标题： Hochtemperatur-Verdampferzelle und Verfahren zur Verdampfung hochschmelzender Materialien
- 专利标题（英）： High temperature evaporator cell and method of evaporating high-melting materials
- 专利标题（中）： 对于高熔点材料蒸发的高温蒸发器细胞和方法
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申请号： EP06011125.9申请日： 2006-05-30
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公开(公告)号： EP1732129A3公开(公告)日： 2007-08-01
- 发明人: Braun, Wolfgang , Fischer, Albrecht
- 申请人： CreaTec Fischer & Co. GmbH , Forschungsverbund Berlin e.V.
- 申请人地址： Industriestrasse 9 74391 Erligheim DE
- 专利权人： CreaTec Fischer & Co. GmbH,Forschungsverbund Berlin e.V.
- 当前专利权人： CreaTec Fischer & Co. GmbH,Forschungsverbund Berlin e.V.
- 当前专利权人地址： Industriestrasse 9 74391 Erligheim DE
- 代理机构： Hertz, Oliver
- 优先权： DE102005025935 20050606
- 主分类号： H01L23/34
- IPC分类号： H01L23/34 ; C23C14/24 ; C30B23/06
摘要：
Eine Verdampferzelle (100), insbesondere zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts, umfasst einen Tiegel (10) zur Aufnahme des Verdampfungsguts, und eine Heizeinrichtung (20) mit einem Heizwiderstand (21) zur Widerstandsheizung des Tiegels (10), wobei der Heizwiderstand (21) als ein Elektronenemitter zur Elektronenstrahlheizung des Tiegels (10) vorgesehen ist. Es wird auch ein Verfahren zur Verdampfung eines hochschmelzenden Verdampfungsguts beschrieben.
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