发明公开
- 专利标题： HOUSING COMPRISING STRUCTURE FOR MOUNTING OPTICAL ELEMENTS
- 专利标题（中）： 具有结构住房，申请光学元件的
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申请号： EP05707566.5申请日： 2005-02-22
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公开(公告)号： EP1745317A2公开(公告)日： 2007-01-24
- 发明人: KWAN, Yim-Bun, Patrick , GEUPPERT, Bernhard , KEMPER, Nico
- 申请人： Carl Zeiss SMT AG , ASML Netherlands B.V.
- 申请人地址： Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT AG,ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT AG,ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Lorenz, Werner
- 优先权： DE102004009203 20040225
- 国际公布： WO2005081029 20050901
- 主分类号： G02B7/02
- IPC分类号： G02B7/02 ; G03F7/20
信息查询
IPC分类:
| G | 物理 |
| G02 | 光学 |
| G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| G02B7/00 | 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接 |
| G02B7/02 | .用于透镜 |
