发明授权
- 专利标题: Method and device for redundant distance measurement and mismatch cancellation in phase-measurement systems
- 专利标题(中): 用于冗余距离测量和用于拾取阶段方法和装置的偏移
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申请号: EP05405466.3申请日: 2005-08-08
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公开(公告)号: EP1752793B1公开(公告)日: 2010-04-14
- 发明人: Lustenberger, Felix , Oggier, Thierry , Becker, Guido , Lamesch, Laurent
- 申请人: MESA Imaging AG , IEE
- 申请人地址: Technoparkstrasse 1 8005 Zürich CH
- 专利权人: MESA Imaging AG,IEE
- 当前专利权人: MESA Imaging AG,IEE
- 当前专利权人地址: Technoparkstrasse 1 8005 Zürich CH
- 代理机构: Schneider Feldmann AG Patent- und Markenanwälte
- 主分类号: G01S17/36
- IPC分类号: G01S17/36 ; G01S17/89
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