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发明公开
EP1760763A3 Dispositif de contrôle des espèces gazeuses par spectrométrie d'émission optique d'un plasma 审中-公开
装置的气体种类的监测通过在等离子体光发射的装置

  • 专利标题： Dispositif de contrôle des espèces gazeuses par spectrométrie d'émission optique d'un plasma
  • 专利标题（英）： Control device for gas species by optical emission spectrometry on a plasma
  • 专利标题（中）： 装置的气体种类的监测通过在等离子体光发射的装置
  • 申请号： EP06114877.1
    申请日： 2006-06-01
  • 公开(公告)号： EP1760763A3
    公开(公告)日： 2007-04-04
  • 发明人: Nomine, Cyrille , Pierrejean, Didier
  • 申请人： Alcatel Lucent
  • 申请人地址： 54 rue La Boétie 75008 Paris FR
  • 专利权人： Alcatel Lucent
  • 当前专利权人： Alcatel Lucent
  • 当前专利权人地址： 54 rue La Boétie 75008 Paris FR
  • 代理机构： Hedarchet, Stéphane
  • 优先权： FR0551534 20050608
  • 主分类号： H01J37/32
  • IPC分类号： H01J37/32
Dispositif de contrôle des espèces gazeuses par spectrométrie d'émission optique d'un plasma
摘要：
Le dispositif de contrôle (1) selon l'invention comprend une excroissance axiale (5) limitée par une paroi périphérique (6) étanche perméable aux champs magnétiques, et raccordée à une enceinte telle qu'une chambre de procédés (11) où sont présentes des espèces gazeuses à contrôler. Un capteur (3) de radiation lumineuse est placé à l'extrémité de l'excroissance axiale d'enceinte (5), et permet le transport de la lumière par une fibre optique (4a) jusqu'à un spectromètre optique (4). Un générateur de plasma (17,18) génère un plasma de contrôle (16) dans l'espace intérieur (8) de l'excroissance axiale d'enceinte (5). Le dispositif comprend un ou plusieurs moyens (7,7a) qui génèrent un champ magnétique (9) ou électrique à proximité du capteur (3) pour former une barrière empêchant la propagation des particules ionisées du plasma de contrôle (16) vers le capteur (3). On évite ainsi l'encrassement du capteur (3) et de l'enceinte.
摘要（英）：

The control device (1) according to the invention comprises an axial projection (5) bounded by a peripheral wall (6) sealingly permeable to magnetic fields and connected to a chamber such as a process chamber (11) which are present gaseous species to control. A sensor (3) of light radiation is placed at the end of the chamber axial protuberance (5), and allows the transport of light through an optical fiber (4a) to an optical spectrometer (4). A plasma generator (17,18) generates a control plasma (16) in the interior (8) of the enclosure axial projection (5). The device comprises one or several means (7,7a) which generate a magnetic field (9) or electric near the sensor (3) to form a barrier preventing the propagation of the ionized particles of the plasma of control (16) to the sensor ( 3). This prevents fouling of the sensor (3) and the enclosure.

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