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发明公开
EP1762542A2 Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung 审中-公开
微机械传感器元件和方法及其制造

  • 专利标题： Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
  • 专利标题（英）： Micromechanical sensor element and its manufacturing method
  • 专利标题（中）： 微机械传感器元件和方法及其制造
  • 申请号： EP06119748.9
    申请日： 2006-08-30
  • 公开(公告)号： EP1762542A2
    公开(公告)日： 2007-03-14
  • 发明人: Reichenbach, Frank , Schelling, Christoph , Leinenbach, Christina
  • 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 申请人地址： C/IPE Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人地址： C/IPE Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 优先权： DE102005042664 20050908
  • 主分类号： B81B3/00
  • IPC分类号： B81B3/00
Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要：
Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanisches Sensorelement mit mindestens einer Membran (41) und mindestens einem Gegenelement vorgeschlagen, wobei zwischen der Membran (41) und dem Gegenelement ein Hohlraum ausgebildet ist.
Eine gute Be- und Entlüftung des Hohlraums wird hier dadurch gewährleistet dass die Membran (41) über Federelemente (42, 43) im Randbereich des Hohlraums festgelegt ist und dass zwischen den Federelementen (42, 43) Öffnungen (45) zum Be- und Entlüften des Hohlraums ausgebildet sind.
Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Sensorelements vorgeschlagen, bei dem ausschließlich oberflächenmikromechanische Maßnahmen zum Einsatz kommen.
摘要（中）：

利用本发明，有至少一个膜（41）和至少一个对应元件的微机械传感器元件被提供，其中所述膜（41）并形成一个空腔中的计数器元件之间。 所述腔体的良好的通风，这里确保经由弹簧元件的膜（41）（42，43）被固定在所述腔体的边缘区域，并且所述弹簧元件（42，43）的开口（45），用于通风之间 腔的形成。 此外，用于制造这种传感器元件的方法，提出了到达所使用的专用的表面微机械措施。

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