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发明公开
EP1762542A3 Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung 审中-公开

  • 专利标题： Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
  • 专利标题（英）： Micromechanical sensor element and its manufacturing method
  • 申请号： EP06119748.9
    申请日： 2006-08-30
  • 公开(公告)号： EP1762542A3
    公开(公告)日： 2008-08-13
  • 发明人: Reichenbach, Frank , Schelling, Christoph , Leinenbach, Christina
  • 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 优先权： DE102005042664 20050908
  • 主分类号： B81B3/00
  • IPC分类号： B81B3/00
Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要：
Mit der vorliegenden Erfindung wird ein mikromechanisches Sensorelement mit mindestens einer Membran (41) und mindestens einem Gegenelement vorgeschlagen, wobei zwischen der Membran (41) und dem Gegenelement ein Hohlraum ausgebildet ist.
Eine gute Be- und Entlüftung des Hohlraums wird hier dadurch gewährleistet dass die Membran (41) über Federelemente (42, 43) im Randbereich des Hohlraums festgelegt ist und dass zwischen den Federelementen (42, 43) Öffnungen (45) zum Be- und Entlüften des Hohlraums ausgebildet sind.
Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Sensorelements vorgeschlagen, bei dem ausschließlich oberflächenmikromechanische Maßnahmen zum Einsatz kommen.
摘要（中）：

该单元具有隔膜（41）和相对单元，其中在隔膜和计数器单元之间形成中空空间。 隔膜通过弹簧单元（42,43）固定在中空空间的边缘区域中，并且在弹簧单元之间形成开口（45）。 隔膜包括在隔膜的边缘方向上定向的加强件（47）。 沟槽形成在计数器单元的表面上。 对于微机械传感器单元的制造方法，还包括独立权利要求。

摘要（英）：

With the present invention, a micromechanical sensor element is proposed having at least one membrane (41) and at least one counter-element, wherein between the membrane (41) and the counter-element, a cavity is formed. A good ventilation of the cavity is here ensured by the fact that the membrane (41) via spring elements (42, 43) is set in the edge region of the cavity and that between the spring elements (42, 43) openings (45) for venting are formed of the cavity. Moreover, a method for manufacturing such a sensor element is proposed in which only come surface micromechanical measures used.

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