- 专利标题： Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
- 专利标题（英）： Micromechanical sensor element and its manufacturing method
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申请号： EP06119748.9申请日： 2006-08-30
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公开(公告)号： EP1762542B1公开(公告)日： 2019-04-03
- 发明人: Reichenbach, Frank , Schelling, Christoph , Leinenbach, Christina
- 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权： DE102005042664 20050908
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00
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