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发明公开
EP1764185A3 Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen 有权
装置和方法，用于制造微结构

  • 专利标题： Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen
  • 专利标题（英）： An apparatus and method for the production of micro structures
  • 专利标题（中）： 装置和方法，用于制造微结构
  • 申请号： EP06026120.3
    申请日： 2005-04-13
  • 公开(公告)号： EP1764185A3
    公开(公告)日： 2007-05-09
  • 发明人: Ostendarp, Heinrich
  • 申请人： Schott AG
  • 申请人地址： Hattenbergstrasse 10 55122 Mainz DE
  • 专利权人： Schott AG
  • 当前专利权人： Schott AG
  • 当前专利权人地址： Hattenbergstrasse 10 55122 Mainz DE
  • 代理机构： Gahlert, Stefan
  • 优先权： DE102004020990 20040423; DE202004011815U 20040728
  • 主分类号： B23Q15/007
  • IPC分类号： B23Q15/007
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen
摘要：
Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung von Mikrostrukturen angegeben, mit einer um ihre Spindelachse rotierend antreibbaren Spindel, an der eine Aufnahme zum Einspannen eines Werkstückes vorgesehen ist, mit einem Aktor (30), der einen schnellen Antrieb (36), insbesondere einen Piezoantrieb, zur Erzeugung einer schnellen Bewegung eines Werkzeugs (32) in einer zur Werkstückoberfläche im Wesentlichen senkrechten Richtung aufweist, wobei der Aktor (30) mittels eines weiteren Antriebes (24) zur Erzeugung eines linearen Vorschubes in einer ersten Richtung entlang einer zu bearbeitenden Werkstückoberfläche positionierbar ist, wobei der schnelle Antrieb (36) mit dem Werkzeug (32) über eine Führungseinrichtung (38) gekoppelt ist, die eine Zustellung des Werkzeugs (32) in Axialrichtung des schnellen Antriebs (36) entgegen einer Rückstellkraft erlaubt und in einer Ebene senkrecht dazu eine hohe Steifigkeit aufweist. Die angewandte Steuerungstechnik erlaubt unter Ausnutzung der dynamischen Systemeigenschaften eine präzise und reproduzierbare Herstellung von Mikrostrukturen (Figur 2).
摘要（英）：

There are provided an apparatus and method for the production of microstructures with a about its spindle axis rotatably driven spindle on which a receptacle is provided for clamping a workpiece, having an actuator (30) of a fast drive (36), in particular a piezoelectric drive for producing a rapid movement of a tool (32) in a direction perpendicular to the workpiece surface in the direction substantially, wherein the actuator (30) by means of a further drive (24) for generating a linear feed in a first direction along a workpiece to be machined surface positionable is, wherein the fast drive (36) with the tool (32) via a guide means (38) is coupled, which permits delivery of the tool (32) in the axial direction of the fast drive (36) counter to a restoring force and in a plane perpendicular to has a high stiffness. The control technique used allows taking advantage of the dynamic system features a precise and reproducible fabrication of microstructures (Figure 2).

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