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发明公开
EP1782435A4 METHOD AND APPARATUS FOR IN-SITU PROBE TIP REPLACEMENT INSIDE A CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE 审中-公开
METHOD AND APPARATUS FOR在显微镜原位探针尖端更改与带电粒子束

  • 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR IN-SITU PROBE TIP REPLACEMENT INSIDE A CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE
  • 专利标题（中）： METHOD AND APPARATUS FOR在显微镜原位探针尖端更改与带电粒子束
  • 申请号： EP05773762
    申请日： 2005-07-21
  • 公开(公告)号： EP1782435A4
    公开(公告)日： 2010-06-16
  • 发明人: MOORE THOMAS M , ZAYKOVA-FELDMAN LYUDMILA
  • 申请人： OMNIPROBE INC
  • 专利权人： OMNIPROBE INC
  • 当前专利权人： OMNIPROBE INC
  • 优先权： US59225204 2004-07-28
  • 主分类号： G21K7/00
  • IPC分类号： G21K7/00
METHOD AND APPARATUS FOR IN-SITU PROBE TIP REPLACEMENT INSIDE A CHARGED PARTICLE BEAM MICROSCOPE
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