发明授权
- 专利标题： RESIST COMPOSITION
- 专利标题（中）： 抗蚀剂组合物
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申请号： EP05797438.8申请日： 2005-09-20
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公开(公告)号： EP1810084B1公开(公告)日： 2014-01-15
- 发明人: HU, Sanlin , MAGHSOODI, Sina , MOYER, Eric, Scott , WANG, Sheng
- 申请人： Dow Corning Corporation
- 申请人地址： 2200 West Salzburg Road Midland MI 48686-0994 US
- 专利权人： Dow Corning Corporation
- 当前专利权人： Dow Corning Corporation
- 当前专利权人地址： 2200 West Salzburg Road Midland MI 48686-0994 US
- 代理机构： Gillard, Richard Edward
- 优先权： US624319P 20041102
- 国际公布： WO2006049720 20060511
- 主分类号： G03F7/075
- IPC分类号： G03F7/075
公开/授权文献
- EP1810084A1 RESIST COMPOSITION 公开/授权日：2007-07-25
信息查询
IPC分类:
