- 专利标题: HALBLEITEREINRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR DEREN HERSTELLUNG
- 专利标题(英): SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
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申请号: EP05801556.1申请日: 2005-10-21
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公开(公告)号: EP1812971B1公开(公告)日: 2020-01-15
- 发明人: GOERLACH, Alfred , QU, Ning
- 申请人: ROBERT BOSCH GMBH
- 申请人地址: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人: ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人: ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权: DE102004053761 20041108
- 国际公布: WO2006048387 20060511
- 主分类号: H01L29/872
- IPC分类号: H01L29/872 ; H01L29/861 ; H01L21/329 ; H01L29/866
公开/授权文献
- EP1812971A1 HALBLEITEREINRICHTUNG UND VERFAHREN FÜR DEREN HERSTELLUNG 公开/授权日:2007-08-01
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