发明公开
EP1842027A2 HOLOGRAM AND METHOD OF MANUFACTURING AN OPTICAL ELEMENT USING A HOLOGRAM
审中-公开
全息图和方法用于生产光学材料用全息图
- 专利标题： HOLOGRAM AND METHOD OF MANUFACTURING AN OPTICAL ELEMENT USING A HOLOGRAM
- 专利标题（中）： 全息图和方法用于生产光学材料用全息图
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申请号： EP06703920.6申请日： 2006-01-20
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公开(公告)号： EP1842027A2公开(公告)日： 2007-10-10
- 发明人: HETZLER, Jochen , BEDER, Susanne , FELDMANN, Heiko
- 申请人： Carl Zeiss SMT AG
- 申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Schorr, Frank Jürgen
- 优先权： US645710P 20050120
- 国际公布： WO2006077145 20060727
- 主分类号： G01B9/021
- IPC分类号： G01B9/021 ; G01B11/24
摘要：
A method of manufacturing an optical element (5) comprises testing an optical surface (3) of the optical element, using an interferometer Ia directing measuring light (23a) onto the optical surface wherein the measuring light traverses two successive holograms (44, 48) disposed in the beam path of the measuring light upstream of the optical surface.
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