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发明公开
EP1863173A2 Filter having multiple piezoelectric thin-film resonators 审中-公开
过滤器mehreren piezoelektrischenDünnschichtresonatoren

Filter having multiple piezoelectric thin-film resonators
摘要：
A filter includes multiple piezoelectric thin-film resonators (S11,S12,S13,S14,P11,P12,P13,P14) each having a substrate (11), a lower electrode (13) formed on the substrate (11), a piezoelectric film (14) formed on the lower electrode (13), and an upper electrode (15) provided on the piezoelectric film (14) so that the upper electrode (15) and the lower electrode (13) face each other across the piezoelectric film (14).
The piezoelectric thin-film resonator (S11,S12,S13,S14,P11,P12,P13,P14) are of two types:
a) a first type (S11,S14,P11,P14) where at least a part (28) of an outer curved portion of the piezoelectric film (14) is located further out than an outer curved portion (26) of a region (24) in which the upper electrode (15) and the lower electrode (13) face each other across the piezoelectric film (14); and
b) a second type (Sl2,S13,P12,P13) in which at least a part of an outer curved portion of the piezoelectric film (14) coincides with an outer curved portion (26) of a region (24) in which the upper electrode (15) and the lower electrode (13) face each other across the piezoelectric film (14) or is further inside the outer curved portion (26) of the region (24).
摘要（中）：

滤波器包括各自具有基板（11），形成在基板（11）上的下部电极（13），压电体（11），压电元件（13），压电元件 形成在下电极（13）上的膜（14）和设置在压电膜（14）上的上电极（15），使得上电极（15）和下电极（13）跨越压电膜 （14）。 压电薄膜谐振器（S11，S12，S13，S14，P11，P12，P13，P14）有两种类型：a）第一类型（S11，S14，P11，P14），其中至少一部分（28） 所述压电膜（14）的外部弯曲部分的位置比所述上部电极（15）和所述下部电极（13）的所述区域（24）的外部弯曲部分（26）位于所述外部弯曲部分 压电薄膜（14）; 和b）压电膜（14）的外弯曲部分的至少一部分与区域（24）的外弯曲部分（26）重合的第二类型（Sl2，S13，P12，P13），其中 上电极（15）和下电极（13）跨越压电膜（14）彼此面对，或者进一步在区域（24）的外弯曲部分（26）的内部。

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