发明授权
- 专利标题： Atomic force microscope for generating a small incident beam spot
- 专利标题（中）： 原子力显微镜，用于产生小入射光束斑
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申请号： EP07121018.1申请日： 1997-08-20
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公开(公告)号： EP1892499B1公开(公告)日： 2014-03-19
- 发明人: Hansma, Paul K. , Schaffer, Tilman E. , Cleveland, Jason P.
- 申请人： REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
- 申请人地址： 300 Lakeside Drive, 22nd Floor Oakland, California 94612-3550 US
- 专利权人： REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
- 当前专利权人： REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
- 当前专利权人地址： 300 Lakeside Drive, 22nd Floor Oakland, California 94612-3550 US
- 代理机构： TBK
- 优先权： US709349 19960906
- 主分类号： G01B7/34
- IPC分类号： G01B7/34 ; H01J3/14 ; B82Y35/00 ; G01Q20/02 ; G01Q60/38 ; G01Q70/06
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