公开(公告)号：EP4288786A1

公开(公告)日：2023-12-13

申请号：EP22704868.3

申请日：2022-01-21

申请人： Centre National de la Recherche Scientifique ,  Université de Caen Normandie ,  UNIVERSITE D'ANGERS ,  Ecole Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen

发明人： LEMOUCHI, Cyprien ,  BARILLE, Régis ,  TRAVERT, Arnaud ,  LE PLUART, Loïc

IPC分类号： G01Q10/04 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/14 ,  H03H9/21 ,  C08G63/685

公开(公告)号：EP3779600A1

公开(公告)日：2021-02-17

申请号：EP19191736.8

申请日：2019-08-14

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： ZHOU, Zili ,  ARABUL, Mustafa Ümit ,  VERSCHUREN, Coen Adrianus

IPC分类号： G03F9/00 ,  G01N29/24 ,  B82Y35/00 ,  G03F7/20 ,  G01N29/34 ,  G01Q60/38

摘要： The disclosure relates to determining information about a target structure formed on a substrate using a lithographic process. In one arrangement, a cantilever probe is provided having a cantilever arm and a probe element. The probe element extends from the cantilever arm towards the target structure. Ultrasonic waves are generated in the cantilever probe. The ultrasonic waves propagate through the probe element into the target structure and reflect back from the target structure into the probe element or into a further probe element extending from the cantilever arm. The reflected ultrasonic waves are detected and used to determine information about the target structure.

公开(公告)号：EP3312616A1

公开(公告)日：2018-04-25

申请号：EP17197070.0

申请日：2017-10-18

申请人： Vmicro ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  Université de Lille 1 Sciences et Technologies

发明人： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc ,  MAIRIAUX-MAGE, Estelle

IPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/10

CPC分类号： G01Q20/02 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

摘要： Sonde pour microscopie à force atomique comprenant une pointe pour microscopie à force atomique (PT1) orientée dans une direction longitudinale (y), caractérisée en ce que :
- la pointe est agencée à une extrémité d'une partie sensible de la sonde (SMS), mobile ou déformable, reliée à une structure de soutien (SMM2), qui est ancrée à la surface principale du substrat ;
- la partie sensible et la structure de soutien sont des éléments planaires, s'étendant principalement dans des plans parallèles à la surface principale du substrat;
- la partie sensible est reliée à la structure de soutien par l'intermédiaire d'au moins un élément (ET1 - ET4) permettant à ladite partie sensible de se déplacer ou de s'étirer dans cette direction ; et
- la pointe, la partie sensible et la structure de soutien font saillie d'un bord (B) du substrat dans ladite direction longitudinale.
Microscope à force atomique comprenant au moins une telle sonde.

摘要翻译： 一种用于原子力显微镜的探针，其包括沿纵向方向（y）取向的用于原子力显微镜的尖端（PT1），其特征在于： - 尖端布置在探针敏感部分（SMS）的一端， 移动的或可变形的，连接到支撑结构（SMM2），该支撑结构锚定到基底的主表面; 敏感部分和支撑结构是平面元件，主要在平行于基板主表面的平面中延伸; 敏感部分通过至少一个元件（ET1-ET4）连接到支撑结构，使得所述敏感部分在该方向上移动或拉伸; 并且尖端，敏感部分和支撑结构沿所述纵向方向从基板的边缘（B）突出。 包括至少一个这样的探针的原子力显微镜。

公开(公告)号：EP2109760B1

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：EP08701983.2

申请日：2008-01-31

申请人： The University Court of the University of St. Andrews

发明人： HAEHNER, Georg ,  LUBARSKY, Gennady

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01Q30/14 ,  G01Q40/00 ,  G01Q60/38 ,  G01F1/20 ,  G01F1/32

CPC分类号： G01Q30/14 ,  G01F1/20 ,  G01F1/32 ,  G01L9/0011 ,  G01Q40/00 ,  G01Q60/38

公开(公告)号：EP2435837A2

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：EP10781335.4

申请日：2010-05-28

申请人： The Research Foundation Of State University Of New York

发明人： CHOPRA, Harsh, Deep ,  ARMSTRONG, Jason, N. ,  HUA, Zonglu

IPC分类号： G01Q70/08 ,  G01Q60/38 ,  G01N27/04 ,  B82B1/00

CPC分类号： G01Q10/02 ,  G01Q10/04 ,  G01Q70/02

摘要： A metrology probe capable of measurements of a broad range of physical properties of individual samples of nano- or sub-nanometer dimensions is provided. The probe comprises a probe body, a substrate connected to the probe body, and a tip proximate the substrate. The probe further comprises a coarse piezoelectric actuator having an electrical input. The coarse piezo is configured to cause the tip and/or the substrate to move relative to each other when a first electrical signal is provided to the electrical input. The probe further comprises a low- pass filter in electrical communication with the electrical input of the coarse piezo. The probe further comprises a fine piezoelectric actuator having an electrical input configured to cause the tip and/or the substrate to move relative to each other when a second electrical signal is provided to the electrical input.

公开(公告)号：EP2163907A2

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：EP09169270.7

申请日：2009-09-02

申请人： Karlsruher Institut für Technologie ,  University Of Maryland

发明人： Hölscher, Hendrik ,  Solares, Santiago De Jesus

IPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q60/32

CPC分类号： G01Q60/32 ,  G01Q20/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

摘要： A microcantilever system comprising a paddle, its use and a method of simultaneously acquiring the topography and measuring the tip-sample interactions of a sample with it.

摘要翻译： 一种微型悬臂梁系统，包括桨叶，其使用和同时获取地形图并测量样品与其尖端 - 样品相互作用的方法。

公开(公告)号：EP1950551A4

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：EP06811462

申请日：2006-10-06

申请人： NAMIKI PRECISION JEWEL CO LTD

发明人： KOYAMA KOUJI ,  KOTAKI TOSHIRO ,  SUNAGAWA KAZUHIKO

IPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/16

CPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q70/10

公开(公告)号：EP1482297A4

公开(公告)日：2008-04-30

申请号：EP03703178

申请日：2003-02-05

申请人： RIKEN

发明人： HASEGAWA TSUYOSHI ,  AONO MASAKAZU ,  NAKAYAMA TOMONOBU ,  HOSAKA SUMIO

IPC分类号： G01B21/30 ,  G01Q10/04 ,  G01Q10/06 ,  G01Q20/02 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/12 ,  G01N13/10 ,  G01N13/16

CPC分类号： G01Q60/34 ,  G01Q10/06 ,  G01Q30/04 ,  G01Q70/12

摘要： An AFM (atomic force microscope) of a digital probing type for measuring a high aspect structure with high precision. A probe (21), while being vibrated, is made to approach the surface of a specimen. The position of the probe of when a predetermined atomic force is detected in the attractive force region is measured (1). The probe is moved away from the specimen surface (2). The servo system for maintaining the spacing between the probe and the specimen surface at a constant distance is stopped, and the probe, while being separate from the specimen surface, is moved to a measurement point along the specimen surface (3). The frequency of the vibration is, for example, slightly out of the resonance point of the cantilever. From the variation of the vibration amplitude of the cantilever, the atomic force is determined.

公开(公告)号：EP1427983A4

公开(公告)日：2008-01-23

申请号：EP02763453

申请日：2002-08-27

申请人： NANONICS IMAGING LTD ,  AARON LEWIS

发明人： LEWIS AARON ,  KOMISSAR ANATOLY ,  TAHA HISHAM ,  RATNER ALEXANDER

IPC分类号： G01Q10/04 ,  G01Q20/00 ,  G01Q30/02 ,  G01Q30/10 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/02 ,  G01B5/28 ,  G01B7/34 ,  G12B21/22

CPC分类号： G01Q70/02 ,  G01Q20/02 ,  G01Q30/025 ,  G01Q30/10 ,  G01Q60/38

摘要： The invention is directed to a scanned probe microscope including one plate (12.1) allowing for tip scanning and second plate (12.2) other allowing for sample scanning, with the optical axis of the scanned probe microscope being free to permit incorporation into standard optical microscopes.

公开(公告)号：EP1411341A4

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：EP02736066

申请日：2002-06-12

申请人： JAPAN SCIENCE & TECH CORP

发明人： KAWAKATSU HIDEKI

IPC分类号： G01B11/30 ,  B82B3/00 ,  G01B9/02 ,  G01B21/30 ,  G01Q10/00 ,  G01Q10/04 ,  G01Q20/02 ,  G01Q30/04 ,  G01Q60/32 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/00 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/12 ,  G01Q70/16 ,  G01Q90/00 ,  G02B21/00 ,  G01N13/16 ,  G12B21/02 ,  G12B21/08 ,  G12B21/22

CPC分类号： G01B9/02045 ,  G01B9/02002 ,  G01H9/004 ,  G01Q20/02 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/12

摘要： A cantilever array formed in a simple structure and capable of accurately detecting the surface of a specimen, a method of manufacturing the array, and a scanning probe microscope, a sliding device of a guide and rotation mechanism, a sensor, a homodyne laser interferometer, and a laser doppler interferometer with specimen light excitation function, using the array, and a cantilever excitation method, the cantilever array comprising a large number of compliant cantilevers (3) sliding on the surface (2) of the specimen (1).