发明公开
- 专利标题： METHOD OF FABRICATING SUSPENDED BEAM IN A MEMS PROCESS
- 专利标题（中）： 用于生产梁悬吊在MEMS工艺
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申请号： EP05791165申请日： 2005-10-10
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公开(公告)号： EP1934133A4公开(公告)日： 2012-09-26
- 发明人: SILVERBROOK KIA
- 申请人： SILVERBROOK RES PTY LTD
- 专利权人： SILVERBROOK RES PTY LTD
- 当前专利权人： SILVERBROOK RES PTY LTD
- 优先权： AU2005001565 2005-10-10
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B41J2/05 ; B41J2/14 ; B41J2/16
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