发明公开
- 专利标题： SHEET PLASMA FILM-FORMING APPARATUS
- 专利标题（中）： 面积等离子体成膜装置
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申请号： EP06833564申请日： 2006-11-29
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公开(公告)号： EP1972700A4公开(公告)日： 2009-12-09
- 发明人: MARUNAKA MASAO , TSUCHIYA TAKAYUKI , TERAKURA ATSUHIRO , TAKEUCHI KIYOSHI
- 申请人： SHINMAYWA IND LTD
- 专利权人： SHINMAYWA IND LTD
- 当前专利权人： SHINMAYWA IND LTD
- 优先权： JP2005351576 2005-12-06
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; H01L21/285 ; H05H1/48
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