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发明公开
SHEET PLASMA FILM-FORMING APPARATUS 审中-公开
标题翻译：面积等离子体成膜装置

公开(公告)号：EP1972700A4

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：EP06833564

申请日：2006-11-29

申请人： SHINMAYWA IND LTD

发明人： MARUNAKA MASAO , TSUCHIYA TAKAYUKI , TERAKURA ATSUHIRO , TAKEUCHI KIYOSHI

IPC分类号： C23C14/34 , H01L21/285 , H05H1/48

CPC分类号： H01J37/3266 , C23C14/046 , C23C14/35 , H01J37/32009 , H01L21/2855 , H01L21/76877