- 专利标题： ION SOURCES, SYSTEMS AND METHODS
-
申请号： EP06837732.4申请日： 2006-11-15
-
公开(公告)号： EP1974365B1公开(公告)日： 2019-08-21
- 发明人: WARD, Billy W. , NOTTE IV, John A. , FARKAS III, Louis, S. , PERCIVAL, Randall G. , HILL, Raymond , GROHOLSKI, Alexander , COMUNALE, Richard , MCVEY, Shawn , BIHR, Johannes
- 申请人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 申请人地址： One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 US
- 专利权人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 当前专利权人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 当前专利权人地址： One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 US
- 代理机构： Carl Zeiss AG - Patentabteilung
- 优先权： US741956P 20051202; US385215 20060320; US385136 20060320; US784390P 20060320; US784388P 20060320; US784331P 20060320; US784500P 20060320; US795806P 20060428; US799203P 20060509
- 国际公布： WO2007067315 20070614
- 主分类号： H01J37/08
- IPC分类号： H01J37/08 ; H01J9/02 ; H01J37/28 ; H01J37/252 ; H01J37/20 ; H01J37/305 ; H01J37/317
公开/授权文献
- EP1974365A2 ION SOURCES, SYSTEMS AND METHODS 公开/授权日：2008-10-01
信息查询
