发明授权
- 专利标题： VACUUM PUMP UNIT
- 专利标题（中）： 真空机组
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申请号： EP07713802.2申请日： 2007-01-29
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公开(公告)号： EP1979619B1公开(公告)日： 2016-12-14
- 发明人: HOZUMI, Takashi , MIYASHITA, Nobuhito , INADA, Takanori , MATAKE, Kozo , OJIMA, Yoshinori , MIYAKE, Susumu , USUI, Katsuaki
- 申请人： Ebara Corporation
- 申请人地址： 11-1 Haneda Asahi-cho Ohta-ku Tokyo 144-8510 JP
- 专利权人： Ebara Corporation
- 当前专利权人： Ebara Corporation
- 当前专利权人地址： 11-1 Haneda Asahi-cho Ohta-ku Tokyo 144-8510 JP
- 代理机构： Wagner, Karl H.
- 优先权： JP2006023764 20060131; JP2006023765 20060131
- 国际公布： WO2007088989 20070809
- 主分类号： F04C23/00
- IPC分类号： F04C23/00 ; F04C18/16 ; F04C25/02 ; F04C28/02 ; H02K49/10
公开/授权文献
- EP1979619A1 VACUUM PUMP UNIT 公开/授权日：2008-10-15
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