发明公开
EP1994550A4 METHOD AND APPARATUS FOR COMBINATORIALLY VARYING MATERIALS, UNIT PROCESS AND PROCESS SEQUENCE
审中-公开
方法和装置组合方法不同的材料，单元过程和工艺流程
- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR COMBINATORIALLY VARYING MATERIALS, UNIT PROCESS AND PROCESS SEQUENCE
- 专利标题（中）： 方法和装置组合方法不同的材料，单元过程和工艺流程
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申请号： EP07750541申请日： 2007-02-12
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公开(公告)号： EP1994550A4公开(公告)日： 2012-01-11
- 发明人: CHIANG TONY P , LAZOVSKY DAVID E , WEINER KURT , PINTO GUS , BOUSSIE THOMAS , GORER SASHA
- 申请人： INTERMOLECULAR INC
- 专利权人： INTERMOLECULAR INC
- 当前专利权人： INTERMOLECULAR INC
- 优先权： US35207706 2006-02-10; US41917406 2006-05-18
- 主分类号： C23C16/52
- IPC分类号： C23C16/52 ; A23B4/12 ; A23J3/34 ; C23C14/54 ; G01N33/20 ; G01R31/26 ; H01L21/66
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