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1.

发明公开
VAPOR BASED COMBINATORIAL PROCESSING 审中-公开
标题翻译： KOMBINIERTE VERARBEITUNG AUF DAMPFBASIS

公开(公告)号：EP2186117A4

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：EP08829663

申请日：2008-09-05

申请人： INTERMOLECULAR INC

发明人： CHIANG TONY P , SHANKER SUNIL , LANG CHI-I

IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455

CPC分类号： C23C16/45574 , C23C16/45544 , C23C16/45548

2.

发明公开
METHOD AND APPARATUS FOR COMBINATORIALLY VARYING MATERIALS, UNIT PROCESS AND PROCESS SEQUENCE 审中-公开
标题翻译：方法和装置组合方法不同的材料，单元过程和工艺流程

公开(公告)号：EP1994550A4

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：EP07750541

申请日：2007-02-12

申请人： INTERMOLECULAR INC

发明人： CHIANG TONY P , LAZOVSKY DAVID E , WEINER KURT , PINTO GUS , BOUSSIE THOMAS , GORER SASHA

IPC分类号： C23C16/52 , A23B4/12 , A23J3/34 , C23C14/54 , G01N33/20 , G01R31/26 , H01L21/66

CPC分类号： H01L22/20 , C23C14/54 , C23C16/52 , H01L22/14 , Y02P80/40

3.

发明公开
SUBSTRATES INCLUDING A CAPPING LAYER ON ELECTRICALLY CONDUCTIVE REGIONS 审中-公开
标题翻译：与覆盖层上的电传导区域SUBSTRATES

公开(公告)号：EP1905072A4

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：EP06740290

申请日：2006-04-03

申请人： INTERMOLECULAR INC

发明人： LAZOVSKY DAVID E , MALHOTRA SANDRA G , BOUSSIE THOMAS R , CHIANG TONY P

IPC分类号： H01L21/76 , H01L21/768 , H01L29/00

CPC分类号： H01L21/76834 , B82Y10/00 , B82Y30/00 , H01L21/76826 , H01L21/76829 , H01L21/76849

4.

发明公开
APPARATUS AND METHOD FOR COMBINATORIAL GAS DISTRIBUTION THROUGH A MULTI-ZONED SHOWERHEAD 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR组合油气分布通过与多个区域的花洒

公开(公告)号：EP2714959A4

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：EP12789308

申请日：2012-05-24

申请人： INTERMOLECULAR INC

发明人： ENDO RICHARD , CHIANG TONY P

IPC分类号： C23C16/00 , C23C16/04 , C23C16/455 , H01J37/32

CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/04 , C23C16/455 , C23C16/45514 , C23C16/45517 , C23C16/45519 , C23C16/45587 , C23C16/52 , H01J37/32366 , H01J37/3244 , H01J37/32449

5.

发明公开
DISCRETIZED PROCESSING AND PROCESS SEQUENCE INTEGRATION OF SUBSTRATE REGIONS 审中-公开
标题翻译：基板区域内离散加工和处理序列整合

公开(公告)号：EP1935003A4

公开(公告)日：2012-01-11

申请号：EP06740662

申请日：2006-04-07

申请人： INTERMOLECULAR INC

发明人： CHIANG TONY P , LAZOVSKY DAVID E , BOUSSIE THOMAS R , MCWAID THOMAS H

IPC分类号： C23C16/52 , A23B4/12 , A23J3/34 , C23C14/54 , G01N33/20 , G01R31/26 , H01L21/66

CPC分类号： H01L21/67011 , C23C14/54 , C23C16/4412 , C23C16/45544 , C23C16/4557 , C23C16/45578 , C23C16/4583 , C23C16/46 , C23C16/52 , H01J37/32449 , H01J37/32513 , H01J37/32724 , H01J2237/166 , H01J2237/20228 , H01J2237/20235 , H01L21/6715 , H01L21/76849 , H01L22/20 , H01L2924/0002 , Y10S438/907 , Y10S438/913 , Y10T137/8593 , H01L2924/00

6.

发明公开
METHOD AND SYSTEM FOR ISOLATED AND DISCRETIZED PROCESS SEQUENCE INTEGRATION 审中-公开
标题翻译：方法和系统进行整合和孤立的离散PROCESSES

公开(公告)号：EP2044623A4

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：EP07840397

申请日：2007-07-12

申请人： INTERMOLECULAR INC

发明人： CHIANG TONY P , ENDO RICHARD R , TSUNG JAMES

IPC分类号： H01L21/677 , B05D3/06 , C23C14/56 , C23C16/00 , H01L21/20 , H01L21/67 , H01L27/12 , H01L27/32 , H01L29/49 , H01L51/52 , H01L51/56

CPC分类号： H01L21/67207 , H01L21/67155 , H01L21/67225 , H01L21/67236