发明公开
- 专利标题： ION BEAM APPARATUS AND METHOD FOR ION IMPLANTATION
- 专利标题（中）： 离子束装置和方法离子注入
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申请号： EP07796127申请日： 2007-06-13
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公开(公告)号： EP2027586A4公开(公告)日： 2010-11-24
- 发明人: GLAVISH HILTON F , JACOBSON DALE CONRAD , HORSKY THOMAS N , HAHTO SAMI K
- 申请人： SEMEQUIP INC
- 专利权人： SEMEQUIP INC
- 当前专利权人： SEMEQUIP INC
- 优先权： US81343106 2006-06-13
- 主分类号： G21K5/10
- IPC分类号： G21K5/10 ; H01J33/02
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