公开(公告)号：EP2027586A4

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：EP07796127

申请日：2007-06-13

Applicant: SEMEQUIP INC

Inventor： GLAVISH HILTON F ,  JACOBSON DALE CONRAD ,  HORSKY THOMAS N ,  HAHTO SAMI K

IPC: G21K5/10 ,  H01J33/02

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/30477 ,  H01J2237/31703 ,  H01L21/26513

公开(公告)号：EP1695369A4

公开(公告)日：2009-11-04

申请号：EP04813789

申请日：2004-12-09

Applicant: SEMEQUIP INC

Inventor： HORSKY THOMAS N ,  MILGATE ROBERT W III ,  SACCO GEORGE P JR ,  JACOBSON DALE CONRAD ,  KRULL WADE ALLEN

IPC: H01J7/24 ,  H01J20060101 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  C23C14/48 ,  C23C14/564 ,  H01J9/38 ,  H01J27/02 ,  H01J27/024 ,  H01J37/08 ,  H01J2209/017 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/022 ,  Y10T137/0357 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/776 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/85954 ,  Y10T137/85978 ,  Y10T137/85986 ,  Y10T137/86002