发明授权
EP2044816B1 DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ET/OU DE CONFINEMENT D'UN PLASMA
有权
装置和方法用于生产和/或等离子狭窄
- 专利标题： DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION ET/OU DE CONFINEMENT D'UN PLASMA
- 专利标题（英）： Device and method for producing and/ or confining a plasma
- 专利标题（中）： 装置和方法用于生产和/或等离子狭窄
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申请号： EP07765802.9申请日： 2007-07-04
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公开(公告)号： EP2044816B1公开(公告)日： 2016-06-01
- 发明人: PELLETIER, Jacques , LACOSTE, Ana , BECHU, Stéphane
- 申请人： Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) , Université Joseph Fourier - Grenoble 1
- 申请人地址： 3 rue Michel-Ange 75016 Paris FR
- 专利权人： Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS),Université Joseph Fourier - Grenoble 1
- 当前专利权人： Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS),Université Joseph Fourier - Grenoble 1
- 当前专利权人地址： 3 rue Michel-Ange 75016 Paris FR
- 代理机构： Regimbeau
- 优先权： FR0606680 20060721
- 国际公布： WO2008009559 20080124
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; H01J37/32
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