发明授权
EP2093612B1 A method of applying a pattern of metal, metal oxide and/or semiconductor material on a substrate
有权
在载体上施加金属,金属氧化物和/或半导体材料的图案的方法
- 专利标题: A method of applying a pattern of metal, metal oxide and/or semiconductor material on a substrate
- 专利标题(中): 在载体上施加金属,金属氧化物和/或半导体材料的图案的方法
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申请号: EP08003394.7申请日: 2008-02-25
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公开(公告)号: EP2093612B1公开(公告)日: 2012-02-08
- 发明人: Lüssem, Björn , Karipidou, Zoi , Wessels, Jurina , Yasuda, Akio
- 申请人: Sony Corporation
- 申请人地址: 1-7-1 Konan, Minato-ku Tokyo 108-0075 JP
- 专利权人: Sony Corporation
- 当前专利权人: Sony Corporation
- 当前专利权人地址: 1-7-1 Konan, Minato-ku Tokyo 108-0075 JP
- 代理机构: Appelt, Christian W.
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00
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