发明授权
- 专利标题： METHOD OF PRODUCING THIN FILM TRANSISTOR
- 专利标题（中）： 用于生产薄膜晶体管
-
申请号： EP08740693.0申请日： 2008-04-15
-
公开(公告)号： EP2150982B1公开(公告)日： 2014-03-19
- 发明人: YABUTA, Hisato , ENDO, Ayanori , KAJI, Nobuyuki , HAYASHI, Ryo
- 申请人： Canon Kabushiki Kaisha
- 申请人地址： 30-2 Shimomaruko 3-chome Ohta-ku Tokyo 146-8501 JP
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： 30-2 Shimomaruko 3-chome Ohta-ku Tokyo 146-8501 JP
- 代理机构： Weser, Wolfgang
- 优先权： JP2007115617 20070425
- 国际公布： WO2008133220 20081106
- 主分类号： H01L29/66
- IPC分类号： H01L29/66 ; H01L29/786 ; H01L29/24
公开/授权文献
信息查询
IPC分类:
