- 专利标题： SILIZIUM-KERAMIK-VERBUNDSUBSTRAT
- 专利标题（英）： Silicon-ceramic composite substrate
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申请号： EP08856359.8申请日： 2008-12-04
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公开(公告)号： EP2218101A2公开(公告)日： 2010-08-18
- 发明人: FISCHER, Michael , BARTSCH DE TORRES, Heike , HOFFMANN, Martin , MÜLLER, Jens , PAWLOWSKI, Beate , BARTH, Stefan
- 申请人： Technische Universität Ilmenau , Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 申请人地址： Ehrenbergstrasse 29 98693 Ilmenau DE
- 专利权人： Technische Universität Ilmenau,Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 当前专利权人： Technische Universität Ilmenau,Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 当前专利权人地址： Ehrenbergstrasse 29 98693 Ilmenau DE
- 代理机构： Engel, Christoph Klaus
- 优先权： DE102007059609 20071206
- 国际公布： WO2009071645 20090611
- 主分类号： H01L23/14
- IPC分类号： H01L23/14 ; H01L23/15
摘要：
The invention relates to a silicon-ceramic composite substrate (01), which comprises a low-temperature ceramic (02) having at least one pre-structured ceramic layer and a silicon substrate (03). According to the invention, the low-temperature ceramic (02) forms a carrier layer and the silicon substrate surface has nanostructures (06), which are completely penetrated into the low-temperature ceramic (02), in a contact area (04) with the carrier layer.
公开/授权文献
- EP2218101B1 SILIZIUM-KERAMIK-VERBUNDSUBSTRAT UND DESSEN HERSTELLUNG 公开/授权日：2018-02-14
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