发明公开
EP2228401A1 Sacrificial compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof
审中-公开
牺牲组合物，它们的使用方法和过程，其分解
- 专利标题： Sacrificial compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof
- 专利标题（中）： 牺牲组合物，它们的使用方法和过程，其分解
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申请号： EP10163437.6申请日： 2003-10-31
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公开(公告)号： EP2228401A1公开(公告)日： 2010-09-15
- 发明人: Kohl, Paul A. , Allen, SueAnn Bidstrup , Henderson, Clifford Lee , Jayachandran, Joseph Paul , Reed, Hollie , White, Celesta, E.
- 申请人： Georgia Tech Research Corporation
- 申请人地址： 505 10th Street NW Mail Code 0415 Atlanta, GA 30332-0415 US
- 专利权人： Georgia Tech Research Corporation
- 当前专利权人： Georgia Tech Research Corporation
- 当前专利权人地址： 505 10th Street NW Mail Code 0415 Atlanta, GA 30332-0415 US
- 代理机构： Tollett, Ian
- 优先权： US423013P 20021101; US699330 20031031
- 主分类号： C08J3/28
- IPC分类号： C08J3/28 ; G03C1/76 ; G03C1/795 ; G03C5/00 ; G03C5/56
摘要：
Polymers, methods of use thereof, and methods for fabricating a structure having air-gaps, are provided. One exemplary polymers, among others, includes, a composition having a sacrificial polymer and a photoacid generator.
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