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发明公开
Sacrificial compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof 审中-公开
标题翻译：牺牲组合物，它们的使用方法和过程，其分解

公开(公告)号：EP2228401A1

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：EP10163437.6

申请日：2003-10-31

申请人： Georgia Tech Research Corporation

发明人： Kohl, Paul A. , Allen, SueAnn Bidstrup , Henderson, Clifford Lee , Jayachandran, Joseph Paul , Reed, Hollie , White, Celesta, E.

IPC分类号： C08J3/28 , G03C1/76 , G03C1/795 , G03C5/00 , G03C5/56

CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , H01L21/7682 , Y10S430/114

摘要： Polymers, methods of use thereof, and methods for fabricating a structure having air-gaps, are provided. One exemplary polymers, among others, includes, a composition having a sacrificial polymer and a photoacid generator.

摘要翻译： 聚合物，使用它们的方法，以及用于制造具有空气隙的结构的方法中，提供了。一个示例性的聚合物，尤其包括，具有牺牲聚合物和光产酸剂的组合物。