发明公开
- 专利标题: NONCONTACT TRANSFER APPARATUS
- 专利标题(中): 无接触式传输设备
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申请号: EP09718323申请日: 2009-03-05
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公开(公告)号: EP2248744A4公开(公告)日: 2012-07-18
- 发明人: ISOBE HIROMI
- 申请人: INST NAT COLLEGES TECH JAPAN
- 专利权人: INST NAT COLLEGES TECH JAPAN
- 当前专利权人: INST NAT COLLEGES TECH JAPAN
- 优先权: JP2008054570 2008-03-05
- 主分类号: B65G49/07
- IPC分类号: B65G49/07 ; B65G37/00 ; B65G49/06 ; B65G51/03 ; B65G54/00 ; H01L21/677
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