发明公开
EP2366486A3 Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels ablenkbarem Laserstrahl 审中-公开
用于通过激光束偏转的装置加工工件的装置

Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels ablenkbarem Laserstrahl
摘要:
Vorrichtung zur Werkstückbearbeitung mittels ablenkbarem Laserstrahl mit einer Laserstrahlquelle (1), einer ansteuerbaren Ablenkeinheit (5), die dazu ausgelegt ist, den auftreffenden Laserstrahl (2) in x-y-Richtung abzulenken, einer Fokussierungslinse (6) und einem ansteuerbaren, deformierbaren Spiegel (3) zur Fokuslagenkorrektur. Die Fokussierungslinse (6) ist im Strahlengang als letztes optisches Bauteil der Ablenkeinheit (5) nachgeordnet und mit dem einen Ablenkspiegel (5.1) der Ablenkeinheit (5) über ein starres Verbindungsglied (7) fest verbunden.
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