发明授权
- 专利标题： Vorrichtung und Verfahren zum Vereinzeln und Transportieren von Substraten
- 专利标题（英）： Device and method for separating and transporting substrates
- 专利标题（中）： 设备和方法，用于底物的分离和运输
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申请号： EP11007220.4申请日： 2011-09-06
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公开(公告)号： EP2428987B1公开(公告)日： 2014-01-08
- 发明人: Renn, Siegfried , Dechant-Wagner, Roland
- 申请人： RENA GmbH
- 申请人地址： Ob der Eck 5 78148 Gütenbach DE
- 专利权人： RENA GmbH
- 当前专利权人： RENA GmbH
- 当前专利权人地址： Ob der Eck 5 78148 Gütenbach DE
- 代理机构： Stürken, Joachim
- 优先权： DE102010045098 20100913
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; H01L21/677 ; B65H3/12 ; B28D5/00
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