发明公开
EP2432034A3 Détecteur bispectral multicouche à photodiodes et procédé de fabrication d'un tel détecteur
有权
双频多层检测器的光电二极管,和制造方法,用于这样的检测器
- 专利标题: Détecteur bispectral multicouche à photodiodes et procédé de fabrication d'un tel détecteur
- 专利标题(英): Multi-layer bispectral detector with photodiodes and method for manufacturing such a detector
- 专利标题(中): 双频多层检测器的光电二极管,和制造方法,用于这样的检测器
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申请号: EP11306126.1申请日: 2011-09-12
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公开(公告)号: EP2432034A3公开(公告)日: 2012-06-27
- 发明人: Gravrand, Olivier , Baylet, Jacques
- 申请人: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- 申请人地址: Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc 75015 Paris FR
- 专利权人: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- 当前专利权人: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- 当前专利权人地址: Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc 75015 Paris FR
- 代理机构: Vuillermoz, Bruno
- 优先权: FR1057390 20100916
- 主分类号: H01L31/11
- IPC分类号: H01L31/11 ; H01L31/18
摘要:
Détecteur bispectral comportant :
■ des couches semi-conductrices supérieure (18) et inférieure (14) d'un premier type de conductivité pour l'absorption de premier et second spectres, séparées par une couche intermédiaire (16) formant barrière ;
■ des zones semi-conductrices (44) d'un second type de conductivité, implantées dans les couches supérieure (18) et inférieure (14), et implantées chacune au moins partiellement dans le fond d'un évidement (22) traversant les couches supérieure (18) et intermédiaire (16); et
■ des éléments conducteurs (28,30,32,34) connectés aux zones semi-conductrices (44).
Au moins la partie de chaque évidement (22) traversant la couche supérieure (18) est séparée de cette dernière par une couche écran (44) semi-conductrice :
■ dont la concentration en dopants du second type de conductivité est supérieure à 10 17 cm -3 ; et
■ dont l'épaisseur est choisie en fonction de ladite concentration de manière à être supérieure à la longueur de diffusion des porteurs minoritaires dans la couche écran.
■ des couches semi-conductrices supérieure (18) et inférieure (14) d'un premier type de conductivité pour l'absorption de premier et second spectres, séparées par une couche intermédiaire (16) formant barrière ;
■ des zones semi-conductrices (44) d'un second type de conductivité, implantées dans les couches supérieure (18) et inférieure (14), et implantées chacune au moins partiellement dans le fond d'un évidement (22) traversant les couches supérieure (18) et intermédiaire (16); et
■ des éléments conducteurs (28,30,32,34) connectés aux zones semi-conductrices (44).
Au moins la partie de chaque évidement (22) traversant la couche supérieure (18) est séparée de cette dernière par une couche écran (44) semi-conductrice :
■ dont la concentration en dopants du second type de conductivité est supérieure à 10 17 cm -3 ; et
■ dont l'épaisseur est choisie en fonction de ladite concentration de manière à être supérieure à la longueur de diffusion des porteurs minoritaires dans la couche écran.
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