发明授权
- 专利标题： VERFAHREN ZUR ORTSAUFGELÖSTEN BESTIMMUNG DES SERIENWIDERSTANDES EINER HALBLEITERSTRUKTUR
- 专利标题（英）： EP2433148B1 - Method for spatially resolving series resistance of a semiconductor structure
- 专利标题（中）： 有序相关确定半导体结构串联电阻的方法
-
申请号： EP10720720.1申请日： 2010-05-17
-
公开(公告)号： EP2433148B1公开(公告)日： 2017-12-27
- 发明人: HAUNSCHILD, Jonas , GLATTHAAR, Markus , REIN, Stefan
- 申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. , Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
- 申请人地址： Hansastrasse 27c 80686 München DE
- 专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.,Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
- 当前专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.,Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
- 当前专利权人地址： Hansastrasse 27c 80686 München DE
- 优先权： DE102009021799 20090518
- 国际公布： WO2010133325 20101125
- 主分类号： G01R31/26
- IPC分类号： G01R31/26 ; G01N21/64
公开/授权文献
信息查询
